2024年10月9日 · 工艺流程:制绒槽→水洗→碱洗→水洗 →酸洗→水洗→吹干。 一般情况下,硅与HF、HNO3(硅表面会被钝化)认为是不反应的。 当存在于两种混合酸的体系中,硅与混合溶液的反应是持续性的。 二、扩散. 扩散是为电池片制造心脏,是为电池片制造P-N结,POCl3是当前磷扩散用较多的选择。 POCl3为液态磷源,液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性好、制

解读光伏电池片工艺流程路线

2024年10月9日 · 工艺流程:制绒槽→水洗→碱洗→水洗 →酸洗→水洗→吹干。 一般情况下,硅与HF、HNO3(硅表面会被钝化)认为是不反应的。 当存在于两种混合酸的体系中,硅与混合溶液的反应是持续性的。 二、扩散. 扩散是为电池片制造心脏,是为电池片制造P-N结,POCl3是当前磷扩散用较多的选择。 POCl3为液态磷源,液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性好、制

TOPCon 高效电池工艺流程

2023年7月27日 · TOPCon电池各工序作用. a. 制绒目的: b. 制绒的原理:在一定的浓度、温度、时间下,利用硅在低浓度碱液中的 各向异性 腐蚀特性,Si与碱液(NaOH)进行一系列化学反应,在硅片表面形成金字塔绒面。 a. 目的:形成 P-N结. 1. TOPCon 电池结构 ① TOPCon 电池整体结构 ② TOPCon 电池背面结构 隧穿:SiO2氧化层;钝化:化学钝化+场钝化;接触:高掺杂

浅析光伏玻璃镀膜技术及发展趋势

在光伏玻璃深加工镀膜技术发展初期,双面提拉式镀膜工艺以高透 过率、低反射率的特点,使光伏太阳能电池的光电转换效率有了显著提高,各主 流光伏玻璃企业纷纷开始关注光伏玻璃镀膜技术,并投资建设双面提拉镀膜工艺 生产线。

电池片制作的七步工艺流程

2017年11月27日 · 电池片工艺流程共分为7步: 第一名步:制绒(INTEX) 第二步: 扩散(DIFF) 第三步: 后清洗(刻边/去PSG) 第四步: 镀减反射膜(PECVD) 第五步: 丝网、烧结(PRINTER) 第六步: 测试、分选(TESTER+SORTER) 第七步: 包装(PACKING) 1 制绒

光伏技术科普:TOPCon 结构电池工艺流程

2024年3月7日 · 工艺流程:制绒槽→水洗→碱洗→水洗→酸洗→水洗→吹干。 1. 制备PN结目的. P-N 结是光伏电池的"心脏",是太阳能电池实现光能到电能转换的关键,在N型硅片(掺磷)上扩散P型元素(硼)形成P-N结(即空间电荷区),在正面形成P+层,背面形成N+层。 2. 制备PN结方法. 在一定的浓度、温度、压力及时间下,硼源(BBr3或BCl3)在管式炉中汽化后,经过一系

一文通PECVD工序工艺_镀膜

2018年11月23日 · 管式PECVD的原理就是通过脉冲射频激发受热的稀薄气体进行辉光放电形成等离子体,通过两片相对应的石墨片加相反的交变电压使等离子在极板间加速撞击气体,运动到硅片表面完成镀膜过程。 三、镀膜的相关介绍. 1、机台照片与工作原理图. 所谓等离子体,是指气体在一定条件下受到高能激发,发生电离,部分外层电子脱离原子核,形成电子、正离子和中性粒

TOPCon电池薄膜沉积工艺 — LPCVD、PECVD和ALD简介

2022年12月16日 · TOPCon电池工艺流程中主要涉及LPCVD、PECVD和ALD三种薄膜沉积路线。 低压化学气相沉积 (Low Pressure CVD)是将气体在反应器内的压力降低到大约133Pa进行沉积的反应。 我们知道,在常压下,气体分子运动速率快于化学反应速率,成膜时会因为反应不彻底面形成孔洞,影响成膜质量。 通过真空泵将炉腔内抽成低压,使得在适当温度下,分子的运动速率慢于

光伏镀膜工艺流程

光伏镀膜工艺流程一般包括以下步骤: 1.准备基板:准备光伏电池的基板,例如硅片或其他半导体材料。 2.清洗基板:采用化学或机械方法对基板进行清洗,以去除表面的污垢和有机杂质。

太阳能电池片PECVD工艺生产流程.ppt 36页

2017年11月23日 · PECVD的工艺原理 通入的特气(硅烷和氨气)在高温和微波源的激发下电离,形成等离子态,并沉积在硅片的表面。 膜的厚度主要与温度,腔体内微波源的功率和镀膜时间有关。 反应室通入反应气体 硅烷 SiH4 氨气 NH3 在微波源的激发下电离形成等离子态 SiNx:H沉积在硅片上 等离子体产生图例 SixNyHz的形成过程 PECVD特气的性质(1) 氨气(NH3): 是一

晶硅太阳能电池制造工艺-工艺流程以及工序简介_百度文库

晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括:硅片清 洗、绒面制备、扩散制结、(等离子周边刻蚀)、去 PSG (磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极 (背面电极、 铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结、Laser和分选测试等。 同时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效 果、抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射 率等项目。 f1. 制绒清洗工序. (1)去除